发明专利
JP4208826B2 Halogen oxygen acids, salts and derivatives thereof containing, microelectronic cleaning compositions
有权
基本信息:
- 专利标题： Halogen oxygen acids, salts and derivatives thereof containing, microelectronic cleaning compositions
- 申请号：JP2004349905 申请日：2004-12-02
- 公开(公告)号：JP4208826B2 公开(公告)日：2009-01-14
- 发明人： チェン−ピン・シャーマン・シュ
- 申请人： マリンクロッド・ベイカー・インコーポレイテッドMallinckrodt Baker, Inc.
- 专利权人： マリンクロッド・ベイカー・インコーポレイテッドMallinckrodt Baker, Inc.
- 当前专利权人： マリンクロッド・ベイカー・インコーポレイテッドＭａｌｌｉｎｃｋｒｏｄｔ Ｂａｋｅｒ， Ｉｎｃ．
- 优先权： US54380104 2004-02-11
- 主分类号： G03F7/32
- IPC分类号： G03F7/32 ; G03F7/42 ; B08B3/14 ; C11D1/00 ; C11D3/395 ; C11D7/08 ; C11D7/32 ; C11D7/50 ; C11D7/54 ; C11D11/00 ; H01L21/027 ; H01L21/304
公开/授权文献:
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G03 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术 |
| ----G03F | 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备 |
| ------G03F7/00 | 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备 |
| --------G03F7/16 | .涂层处理及其设备 |
| ----------G03F7/30 | ..用液体消除影像的 |
| ------------G03F7/32 | ...所用的液体成分，例如，显影剂 |