基本信息:
- 专利标题： Scanning probe microscope
- 申请号：JP2003568346 申请日：2002-11-27
- 公开(公告)号：JP4121961B2 公开(公告)日：2008-07-23
- 发明人： リ パク サン , ワン ホン ジェイ , ヒャン ウォン ジオン
- 申请人： ピーエスアイエー コーポレイション
- 专利权人： ピーエスアイエー コーポレイション
- 当前专利权人： ピーエスアイエー コーポレイション
- 优先权： US7783502 2002-02-15
- 主分类号： G01B21/30
- IPC分类号： G01B21/30 ; G01Q10/02 ; G01Q10/04 ; G01Q20/02 ; G01Q30/00 ; G01Q60/32 ; G01Q60/38 ; G01Q70/02 ; G01Q70/10 ; H01J37/26
公开/授权文献:
- JP2005517911A Scanning probe microscope 公开/授权日：2005-06-16
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B21/00 | 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件 |
| --------G01B21/30 | .用于计量表面的粗糙度或不规则性 |