基本信息:
- 专利标题： Rotary cup type liquid coating apparatus
- 申请号：JP447796 申请日：1996-01-16
- 公开(公告)号：JP3707849B2 公开(公告)日：2005-10-19
- 发明人： 康爾 上田 , 勉 佐保田 , 英典 宮本 , 弘樹 遠藤
- 申请人： 東京応化工業株式会社
- 专利权人： 東京応化工業株式会社
- 当前专利权人： 東京応化工業株式会社
- 优先权： JP447796 1996-01-16
- 主分类号： B05C11/08
- IPC分类号： B05C11/08 ; G03F7/16 ; H01L21/00 ; H01L21/027
公开/授权文献:
- JPH09192572A ROTARY CUP-TYPE LIQUID APPLYING DEVICE 公开/授权日：1997-07-29