基本信息:
- 专利标题： Dimension measuring device of the sample
- 申请号：JP12559296 申请日：1996-05-21
- 公开(公告)号：JP3602646B2 公开(公告)日：2004-12-15
- 发明人： 文夫 水野
- 申请人： 株式会社日立製作所
- 专利权人： 株式会社日立製作所
- 当前专利权人： 株式会社日立製作所
- 优先权： JP12559296 1996-05-21
- 主分类号： G01B11/02
- IPC分类号： G01B11/02 ; G01B15/00 ; G01N37/00 ; G01Q10/02 ; G01Q30/04 ; G01Q60/24 ; G01R31/265 ; G06T1/00 ; H01L21/66
公开/授权文献:
- JPH09304023A APPARATUS FOR MEASURING SAMPLE DIMENSION 公开/授权日：1997-11-28
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/02 | .用于计量长度、宽度或厚度 |