基本信息:
- 专利标题：
- 申请号：JP17256090 申请日：1990-06-29
- 公开(公告)号：JP2986858B2 公开(公告)日：1999-12-06
- 发明人： CHENJU U , AN EMU MUURINGU , JEEMUZU TEII YAADORII
- 申请人： KURARIANTO FUAINANSU BII BUI AI LTD
- 专利权人： KURARIANTO FUAINANSU BII BUI AI LTD
- 当前专利权人： KURARIANTO FUAINANSU BII BUI AI LTD
- 优先权： US37335889 1989-06-29
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; C07C13/10 ; C07C245/12 ; G03F7/016 ; G03F7/039 ; H01L21/027