基本信息:
- 专利标题：
- 申请号：JP14872093 申请日：1993-05-27
- 公开(公告)号：JP2907368B2 公开(公告)日：1999-06-21
- 发明人： EJIMA KOICHIRO , OOTAKI MITSUNOBU , YOKOGAWA TOSHIO , URANO HIROAKI , AMO RYUICHI
- 申请人： DOWA KOGYO KK
- 专利权人： DOWA KOGYO KK
- 当前专利权人： DOWA KOGYO KK
- 优先权： JP14872093 1993-05-27
- 主分类号： C04B35/00
- IPC分类号： C04B35/00 ; C04B35/495 ; C23C14/34 ; H01L21/203 ; H01L21/285
公开/授权文献:
- JPH07145478A ITO SPUTTERING TARGET 公开/授权日：1995-06-06