基本信息:
- 专利标题： シール材及びその製造方法
- 专利标题（英）：SEALANT, AND PRODUCTION METHOD THEREOF
- 申请号：JP2021145129 申请日：2021-09-07
- 公开(公告)号：JP2022001642A 公开(公告)日：2022-01-06
- 发明人： 上田 吉昭 , 安田 裕明 , 奥田 智昭 , 永田 彰宏 , 浜村 武広
- 申请人： 三菱電線工業株式会社
- 申请人地址： 東京都千代田区丸の内三丁目4番1号
- 专利权人： 三菱電線工業株式会社
- 当前专利权人： 三菱電線工業株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区丸の内三丁目4番1号
- 代理人： 特許業務法人前田特許事務所
- 主分类号： C08K3/36
- IPC分类号： C08K3/36 ; C08J3/24 ; C09K3/10 ; C08L27/12
摘要：
【課題】帯電防止性能が安定で且つ識別性も優れるシール材を得る。 【解決手段】シール材は、プラズマを使用する半導体製造装置に用いられる。シール材は、未架橋の架橋性フッ素ゴムと、イオン液体と、架橋剤と、を含有するシール材用ゴム材料の前記架橋性フッ素ゴムが架橋したゴム組成物で形成されている。 【選択図】なし
摘要（英）：
To obtain a sealant having stable anti-static performance and excellent discriminability.SOLUTION: A sealant is used in a semiconductor manufacturing apparatus using plasma. The sealant is made of a rubber composition formed by crosslinking a crosslinking fluororubber to a rubber material for a sealant containing uncrosslinked crosslinking fluororubber, an ionic liquid, and a crosslinking agent.SELECTED DRAWING: None