基本信息:
- 专利标题: 電子ベースのホログラムの改良された再構成アルゴリズム
- 专利标题(英):IMPROVED RECONSTRUCTION ALGORITHM OF ELECTRON-BASED HOLOGRAM
- 申请号:JP2020208077 申请日:2020-12-16
- 公开(公告)号:JP2021096475A 公开(公告)日:2021-06-24
- 发明人: クン リウ , アラン バーム , マルクス ストロー
- 申请人: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
- 申请人地址: アメリカ合衆国 オレゴン 97124−5793 ヒルズボロ ドーソン・クリーク・ドライヴ 5350 エヌイー
- 专利权人: エフ イー アイ カンパニ,FEI COMPANY
- 当前专利权人: エフ イー アイ カンパニ,FEI COMPANY
- 当前专利权人地址: アメリカ合衆国 オレゴン 97124−5793 ヒルズボロ ドーソン・クリーク・ドライヴ 5350 エヌイー
- 代理人: 伊東 忠重; 伊東 忠彦; 宮崎 修
- 优先权: US16/717760 2019-12-17
- 主分类号: G01N23/041
- IPC分类号: G01N23/041 ; H01J37/26 ; H01J37/22 ; G03H1/04
To provide an apparatus and a method for improved reconstruction of an electronic based hologram.SOLUTION: An apparatus and a method for improved reconstruction of an electron-based hologram are disclosed herein. An example method at least includes: forming a hologram of a sample and a known object; forming reconstruction of the known object by using reconstruction algorithm; comparing the reconstruction of the known object to reference reconstruction of the known object; and adjusting the reconstruction algorithm based on comparison of the reconstruction of the known object to the reference reconstruction of the known object. The example method may further include forming reconstruction of the sample by using the adjusted reconstruction algorithm.SELECTED DRAWING: Figure 1
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
------G01N23/00 | 利用未包括在G01N21/00或G01N22/00组内的波或粒子辐射来测试或分析材料,例如X射线、中子 |
--------G01N23/02 | .通过使辐射透过材料 |
----------G01N23/04 | ..并形成图像 |
------------G01N23/041 | ...相位差图像,例如使用光栅干涉仪 |