基本信息:
- 专利标题: 金属酸化物ナノ粒子及び有機ポリマーを含むスピンオン材料の組成物
- 申请号:JP2019533534 申请日:2017-12-19
- 公开(公告)号:JP2020503409A 公开(公告)日:2020-01-30
- 发明人: ラーマン・エム・ダリル , ヤオ・フェイロン , チョ・ジュンヨン , パドマナバン・ミュニラスナ , ウルファー・エリザベス
- 申请人: リッジフィールド・アクウィジション
- 申请人地址: ルクセンブルク国、1648 ルクセンブルク、プラス・ギヨーム・2、46
- 专利权人: リッジフィールド・アクウィジション
- 当前专利权人: リッジフィールド・アクウィジション
- 当前专利权人地址: ルクセンブルク国、1648 ルクセンブルク、プラス・ギヨーム・2、46
- 代理人: 江崎 光史; 鍛冶澤 實; 上西 克礼; 虎山 一郎
- 优先权: US62/437,449 2016-12-21
- 国际申请: EP2017083498 JP 2017-12-19
- 国际公布: WO2018114920 JP 2018-06-28
- 主分类号: G03F7/11
- IPC分类号: G03F7/11 ; G03F7/26 ; H01L21/027 ; C08G61/10 ; C09D7/61 ; C09D7/20 ; H01L21/312 ; C09D201/00
摘要:
本発明は、溶剤、この溶剤中に分散した金属酸化物ナノ粒子、この溶剤中に溶解した高炭素ポリマーを含むコーティング組成物であって、前記高炭素ポリマーが、構造(1)の繰り返し単位、構造(2)のヒドロキシビフェニル繰り返し単位、及び構造(3)の縮合芳香族含有部分を含む部分を含み、式中、R 1 及びR 2 は、独立して、水素、アルキル及び置換されたアルキルからなる群から選択され、Arは、置換されていないもしくは置換された縮合芳香族環であり、そしてX 1 はアルキレンスペーサまたは直接原子価結合である、コーティング組成物に関する。また本発明は、ハードマスクをパターン化するためにフォトレジストを用いて及びプラズマで半導体基材をパターン化するためにハードマスクを用いた反転トーン式ハードマスクパターン転写方法または慣用のマスクパターン方法のいずれかにより前記組成物がパターン化ハードマスクとしてリソグラフィ用途に使用される方法にも関する。本発明は、金属酸化物、及び溶剤中に分散された金属酸化物ナノ粒子を含む組成物が、標準的なハードマスクパターン転写プロセスで半導体基材をパターン化するために用いられる金属ハードマスクをコートするために使用される方法も含む。