基本信息:
- 专利标题： 荷電粒子線デバイス用のセグメント化検出器
- 申请号：JP2020107513 申请日：2020-06-23
- 公开(公告)号：JP2020167171A 公开(公告)日：2020-10-08
- 发明人： バルビ ニコラス シー , モット リチャード ビー , ヒーリー オーウェン
- 申请人： エフイーアイ カンパニー
- 申请人地址： アメリカ合衆国 97124 オレゴン州 ヒルズボロ エヌイー ドーソン クリーク ドライブ 5350
- 专利权人： エフイーアイ カンパニー
- 当前专利权人： エフイーアイ カンパニー
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 97124 オレゴン州 ヒルズボロ エヌイー ドーソン クリーク ドライブ 5350
- 代理人： 田中 伸一郎; ▲吉▼田 和彦; 松下 満; 倉澤 伊知郎; 山本 泰史
- 优先权： US62/199,565 2015-07-31
- 主分类号： H01J37/147
- IPC分类号： H01J37/147 ; H01J37/22 ; G01N23/203 ; G01N23/2254 ; G01N23/2251 ; G01N23/2252 ; G01N23/2206 ; H01J37/244
摘要：
【課題】電子画像及びCL画像の収集用に構造化された検出器を改善する。 【解決手段】荷電粒子線デバイス用の検出器は、基板と、基板上に備えられた複数の光子センサデバイスであって、被検物によって放射された光子に対して感応性があり、光子に応答して第2の信号を生成するように構造化されている、複数の光子センサデバイスと、を含む。また、光子センサデバイスのそれぞれが、被検物によって放射された光子に対して感応性があり、光子に応答して信号を生成するように構造化されており、また、光子センサデバイスのそれぞれが、多画素光子計数器デバイスを備える、光子検出器である。さらに、荷電粒子線デバイスを使用して被検物を撮像する方法は、ビームブランキング、及び推定減衰時定数の決定を使用する。 【選択図】図2
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/04 | ..电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 |
| ------------H01J37/147 | ...沿所需路径导引或偏转电子流的装置 |