基本信息:
- 专利标题： 振動発電デバイスの製造方法及び磁歪部品の製造方法
- 申请号：JP2019013594 申请日：2019-01-29
- 公开(公告)号：JP2020123629A 公开(公告)日：2020-08-13
- 发明人： 北川 直明
- 申请人： 住友金属鉱山株式会社
- 申请人地址： 東京都港区新橋5丁目11番3号
- 专利权人： 住友金属鉱山株式会社
- 当前专利权人： 住友金属鉱山株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都港区新橋5丁目11番3号
- 代理人： 上田 章三; 小泉 雅裕; 亀井 岳行
- 主分类号： C23C14/14
- IPC分类号： C23C14/14 ; C30B29/52 ; C30B11/00 ; C30B23/02 ; H02N2/18 ; H01L41/47
摘要：
【課題】磁歪材料の配向性及び分散の均一性に優れた磁歪部品を含む振動発電デバイスの製造方法を提供する。 【解決手段】被振動体2の少なくとも一部に磁場を作用させる磁場作用手段4と、被振動体2のうち磁場作用手段4による磁場の作用領域に設けられ、磁歪材料を含む磁歪部品5と、磁歪部品5の周囲に巻かれ、磁歪部品5の磁歪材料の歪みに依存して電磁誘導するコイル6と、を備えた振動発電デバイス1を製造するに際し、磁歪部品5は、磁歪材料からなる単結晶又は多結晶12を育成する育成工程11と、育成工程11にて育成された単結晶又は多結晶12からスパッタ用ターゲット14を作製するターゲット作製工程13と、ターゲット作製工程13にて作製されたスパッタ用ターゲット14を用いてスパッタリングを実施し、基材5aの表面にスパッタ膜5cを成膜する成膜工程15と、を経て作製されるものである。 【選択図】図1