基本信息:
- 专利标题： 光学検査装置
- 申请号：JP2019014268 申请日：2019-01-30
- 公开(公告)号：JP2020122702A 公开(公告)日：2020-08-13
- 发明人： 神川 卓大 , 大野 博司 , 羽藤 武宏
- 申请人： 株式会社東芝
- 申请人地址： 東京都港区芝浦一丁目1番1号
- 专利权人： 株式会社東芝
- 当前专利权人： 株式会社東芝
- 当前专利权人地址： 東京都港区芝浦一丁目1番1号
- 代理人： 蔵田 昌俊; 野河 信久; 峰 隆司; 河野 直樹; 井上 正; 金子 早苗
- 主分类号： G01N21/84
- IPC分类号： G01N21/84
摘要：
【課題】 高精度な検査を可能にしつつ、光源の数を低減した光学検査装置を提供する。 【解決手段】 実施形態の光学検査装置は、検査対象と対向する撮像光学系と、前記撮像光学系の光軸に沿って延びるとともに、複数の角部を有する多角形の筒状をなした導光体と、前記複数の角部に対応する位置で前記導光体の端面に対向した複数の光源と、を備える。実施形態の光学検査装置は、ミラー面を備える。ミラー面は、前記導光体の前記端面に対向する第2端面に前記光軸に対して斜めに設けられ、前記光源から前記導光体内に入射された光を前記検査対象に向けて反射可能である。 【選択図】図1
公开/授权文献:
- JPWO2020202358A1 超音波振動子、超音波内視鏡及び超音波振動子の製造方法 公开/授权日：2021-12-16
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/84 | .专用于特殊应用的系统 |