基本信息:
- 专利标题： スパッタ源のためのパルス形状コントローラ
- 申请号：JP2019507823 申请日：2017-07-18
- 公开(公告)号：JP2019532173A 公开(公告)日：2019-11-07
- 发明人： ストーウェル, マイケル ダブリュ. , ババヤン, ヴィアチェスラフ , リウ, チン , ファ, チョン チャン
- 申请人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
- 申请人地址： アメリカ合衆国 カリフォルニア 95054, サンタ クララ, バウアーズ アヴェニュー 3050
- 专利权人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
- 当前专利权人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 カリフォルニア 95054, サンタ クララ, バウアーズ アヴェニュー 3050
- 代理人： 園田・小林特許業務法人
- 优先权： US62/375,288 2016-08-15 US15/349,433 2016-11-11
- 国际申请： US2017042653 JP 2017-07-18
- 国际公布： WO2018034771 JP 2018-02-22
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; H05H1/46 ; C23C14/34
摘要：
本書に記載の実施形態は、基板処理システムのパルス制御システムに関する。パルス制御システムは、電源、システムコントローラ、及びパルス形状コントローラを含む。パルス形状コントローラは電源に連結され、システムコントローラと通信を行う。パルス形状コントローラは、第1のスイッチアセンブリと第2のスイッチアセンブリを含む。第1のスイッチアセンブリは、第1の端部と第2の端部を有する第1のスイッチを含む。第1のスイッチは開放状態と閉鎖状態との間で設定可能である。第2のスイッチアセンブリは、第1の端部と第2の端部を有する第2のスイッチを含む。第1のスイッチは閉鎖状態にあり、第2のスイッチは開放状態にある。閉鎖状態にある第1のスイッチは、電源によって供給されるパルスが、パルス形状コントローラを介して伝わることができるように構成されている。 【選択図】図2