基本信息:
- 专利标题： 化学機械研磨後洗浄のための組成物
- 申请号：JP2018564814 申请日：2017-05-31
- 公开(公告)号：JP2019518849A 公开(公告)日：2019-07-04
- 发明人： デシュライン,クリスティアン , ジーベルト,マクス , ラウター,ミヒャエル , ロイニッセン,レオナルドゥス , ガルシア ロメロ,イヴァン , ゲヴェンク,ハチ オスマン , プルジビルスキ,ペーター , プレルス,ユリアン , クリップ,アンドレアス
- 申请人： ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア , BASF SE
- 申请人地址： ドイツ連邦共和国 67056 ルートヴィヒスハーフェン・アム・ライン カール−ボッシュ−シュトラーセ 38
- 专利权人： ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア,BASF SE
- 当前专利权人： ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア,BASF SE
- 当前专利权人地址： ドイツ連邦共和国 67056 ルートヴィヒスハーフェン・アム・ライン カール−ボッシュ−シュトラーセ 38
- 代理人： 江藤 聡明
- 优先权： EP16173998.2 2016-06-10
- 国际申请： EP2017063215 JP 2017-05-31
- 国际公布： WO2017211653 JP 2017-12-14
- 主分类号： C11D3/37
- IPC分类号： C11D3/37 ; H01L21/304 ; C11D1/722
摘要：
化学機械研磨後(CMP後)洗浄組成物であって、 (A)一般式(I)の1種以上の水溶性非イオン性コポリマー及びその混合物 【化1】 (式中、R 1 及びR 3 は、互いに独立して、水素、メチル、エチル、n−プロピル、iso−プロピル、n−ブチル、iso−ブチル、又はsec−ブチルであり、R 2 は、メチルであり、x及びyは、整数である)、 (B)最大で10,000g/molの質量平均モル質量(Mw)を有するポリ(アクリル酸)(PAA)又はアクリル酸−マレイン酸コポリマー、及び (C)水、 を含むか又はそれらからなり、組成物のpHは7.0〜10.5の範囲内である、組成物が開示される。 【選択図】なし
公开/授权文献:
- JP6932147B2 化学機械研磨後洗浄のための組成物 公开/授权日：2021-09-08
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C11 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 |
| ----C11D | 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 |
| ------C11D3/00 | 包括在C11D1/00组内之洗涤组合物的其他配料成分 |
| --------C11D3/02 | .无机化合物 |
| ----------C11D3/37 | ..聚合物 |