基本信息:
- 专利标题： ポジ型感光性シロキサン組成物
- 申请号：JP2018534866 申请日：2017-01-20
- 公开(公告)号：JP2019504359A 公开(公告)日：2019-02-14
- 发明人： 三角 元希 , 横山 大志 , 高橋 恵 , 野中 敏章
- 申请人： アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ
- 申请人地址： ルクセンブルグ国ルクセンブルグ、プラス、ギヨーム、2、46
- 专利权人： アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ
- 当前专利权人： アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ
- 当前专利权人地址： ルクセンブルグ国ルクセンブルグ、プラス、ギヨーム、2、46
- 代理人： 永井 浩之; 中村 行孝; 佐藤 泰和; 朝倉 悟; 前川 英明; 遠藤 逸子
- 优先权： JP2016032209 2016-02-23
- 国际申请： EP2017000070 JP 2017-01-20
- 国际公布： WO2017144148 JP 2017-08-31
- 主分类号： G03F7/023
- IPC分类号： G03F7/023 ; G03F7/004 ; C08L83/04 ; C08K5/23 ; C08K5/20 ; G03F7/075
摘要：
【課題】ベンゼンなどの有害な揮発性成分を放出せずに高解像度、高耐熱性、高透明性のパターンを形成することができ、またパターン形成の際における現像残渣や溶け残り等、難溶物の再付着によるパターン欠陥が低減された、貯蔵安定性に優れたポジ型感光性シロキサン組成物の提供。 【解決手段】フェニル基を有するポリシロキサンと、ジアゾナフトキノン誘導体と、特定の含窒素複素環構造を有する光塩基発生剤の水和物または溶媒和物と、有機溶剤を含んでなる溶剤とを含んでなることを特徴とする、ポジ型感光性シロキサン組成物。
公开/授权文献:
- JP6487126B2 ポジ型感光性シロキサン組成物 公开/授权日：2019-03-20