基本信息:
- 专利标题： 半導体装置およびその製造方法
- 申请号：JP2018042416 申请日：2018-03-08
- 公开(公告)号：JP2019158977A 公开(公告)日：2019-09-19
- 发明人： 飯田 哲也 , 中柴 康▲隆▼
- 申请人： ルネサスエレクトロニクス株式会社
- 申请人地址： 東京都江東区豊洲三丁目2番24号
- 专利权人： ルネサスエレクトロニクス株式会社
- 当前专利权人： ルネサスエレクトロニクス株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都江東区豊洲三丁目2番24号
- 代理人： 特許業務法人筒井国際特許事務所
- 主分类号： G02B6/122
- IPC分类号： G02B6/122 ; G02B6/13
摘要：
【課題】複数のショット領域を含む半導体チップに搭載され、隣り合うショット領域同士の境界を跨いで形成される光導波路において、光通信時に光損失が生じることを防ぐ。 【解決手段】互いに隣り合うショット領域同士の境界線DL1と平面視で重なり合う領域において、短手方向の幅が大きい幅広部を備えた光導波路OW1を形成する。これらのショット領域のそれぞれの露光位置のずれに起因して、光導波路OW1の幅広部の短手方向の両側の側面のそれぞれには、平面視において段部DPが形成されている。 【選択図】図9
公开/授权文献:
- JPWO2020100273A1 空気調和機の室外機 公开/授权日：2021-09-02
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G02 | 光学 |
| ----G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| ------G02B6/00 | 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件 |
| --------G02B6/02 | .带有包层的光导纤维 |
| ----------G02B6/12 | ..集成光路类型 |
| ------------G02B6/122 | ...基本光学元件，例如，传导光的光路 |