基本信息:
- 专利标题： ローラーシステムのメインローラーの直径を検出する直径検出方法
- 申请号：JP2018174117 申请日：2018-09-18
- 公开(公告)号：JP2019075549A 公开(公告)日：2019-05-16
- 发明人： レイ シー チュエ , チェン チャン テイエン
- 申请人： 友達晶材股▲ふん▼有限公司 , AUO Crystal Corporation
- 申请人地址： 台灣台中市后里區后科路二段335號
- 专利权人： 友達晶材股▲ふん▼有限公司,AUO Crystal Corporation
- 当前专利权人： 友達晶材股▲ふん▼有限公司,AUO Crystal Corporation
- 当前专利权人地址： 台灣台中市后里區后科路二段335號
- 代理人： 青木 篤; 三橋 真二; 伊藤 公一; 伊藤 健太郎
- 优先权： TW106135153 2017-10-13
- 主分类号： B24B27/06
- IPC分类号： B24B27/06 ; B24B49/10 ; B28D5/04 ; B28D7/00 ; H01L21/304
摘要：
【課題】ワイヤーソーの高速化と半導体インゴットの切断効率の向上を図る。 【解決手段】メインローラー11についてメインローラー11の真の直径値R r に基づいて想定される想定直径R S を入力するステップと、固定直径回転部材14の回転速度ωを検出するステップと、テンションローラー121が予め定められた元位置からシフト移動されたかどうかを検出するステップと、ワイヤー17のターゲット速度V T とワイヤー17の真の走行速度値V R とが同じかどうかを検出するステップとを有する。テンションローラー121が元位置からシフト移動された時、固定直径回転部材14の直径値を補正して固定直径回転部材14の回転速度を調節する。V T /V R S を上げ、V T /V R >1の場合、想定直径R S を下げ、V T /V R =1の場合、想定直径R S が真の直径値R r であると判定される。 【選択図】図6
公开/授权文献:
- JP6717903B2 ローラーシステムのメインローラーの直径を検出する直径検出方法 公开/授权日：2020-07-08