基本信息:
- 专利标题： 複数の荷電粒子ビームの装置
- 专利标题（英）：JP2018535525A - The apparatus of the plurality of charged particle beams
- 申请号：JP2018526522 申请日：2016-11-30
- 公开(公告)号：JP2018535525A 公开(公告)日：2018-11-29
- 发明人： レン,ウェイミン , リウ,シュエドン , フー,シュエラン , チェン,チョンウェイ
- 申请人： エルメス マイクロビジョン,インコーポレーテッド , HERMES MICROVISION INC.
- 申请人地址： 台湾 シンチュ・シティ・300 イースト・ディストリクト プディング・ロード ナンバー・18 7エフ
- 专利权人： エルメス マイクロビジョン,インコーポレーテッド,HERMES MICROVISION INC.
- 当前专利权人： エルメス マイクロビジョン,インコーポレーテッド,HERMES MICROVISION INC.
- 当前专利权人地址： 台湾 シンチュ・シティ・300 イースト・ディストリクト プディング・ロード ナンバー・18 7エフ
- 代理人： 稲葉 良幸; 大貫 敏史; 江口 昭彦; 内藤 和彦
- 优先权： US62/260,822 2015-11-30
- 国际申请： US2016064195 JP 2016-11-30
- 国际公布： WO2017095908 JP 2017-06-08
- 主分类号： H01J37/29
- IPC分类号： H01J37/29 ; H01J37/05 ; H01J37/141 ; H01J37/244 ; H01J37/147 ; H01J37/21 ; H01J37/28
摘要：
【課題】 高い収集効率と低いクロストークで二次電子検出を実行する、マルチビーム装置における二次投影結像システムが提案される。 【解決手段】 システムは、1つのズームレンズ、1つの投影レンズ、及び1つのスキャン防止偏向ユニットを使用する。ズームレンズ及び投影レンズは、それぞれズーム機能及び回転防止機能を実行して、複数の一次ビームレットの表面到達エネルギ及び/又は電流に対して全結像倍率及び全像回転を維持する。スキャン防止偏向ユニットは、スキャン防止機能を実行して、複数の一次ビームレットの偏向スキャンによる動的な像変位を排除する。 【選択図】 図3B
摘要（英）：
A executes the secondary electron detector with high collection efficiency and low crosstalk, secondary projection imaging system in a multi-beam device is proposed.
A system may use a single zoom lens, one projection lens, and a single scan preventing deflection unit. The zoom lens and projection lens may perform a zoom function and the anti-rotation function, respectively, to maintain the total imaging magnification and Zenzo rotation with respect to the surface reach energies for the multiple primary beamlets and / or current. Scan preventing deflection unit is to perform a scan prevention function, eliminating a dynamic image displacement by the deflection scanning of the plurality of primary beamlets.
.FIELD 3B
公开/授权文献:
- JP6641011B2 複数の荷電粒子ビームの装置 公开/授权日：2020-02-05