基本信息:
- 专利标题： 材料堆積源構成の分配アセンブリのためのノズル、材料堆積源構成、真空堆積システム、及び材料を堆積させるための方法
- 专利标题（英）：JP2018532876A - Nozzles for dispensing assembly material deposition source arrangement, material deposition source arrangement, a method for depositing a vacuum deposition system, and the material
- 申请号：JP2017541926 申请日：2016-09-22
- 公开(公告)号：JP2018532876A 公开(公告)日：2018-11-08
- 发明人： ロップ, アンドレアス , ハース, ディーター
- 申请人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
- 申请人地址： アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95054 サンタ クララ バウアーズ アベニュー 3050
- 专利权人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
- 当前专利权人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95054 サンタ クララ バウアーズ アベニュー 3050
- 代理人： 園田・小林特許業務法人
- 国际申请： EP2016072578 JP 2016-09-22
- 国际公布： WO2018054472 JP 2018-03-29
- 主分类号： C23C14/12
- IPC分类号： C23C14/12 ; H01L51/50 ; H05B33/10 ; C23C14/24
Nozzle connected to the dispensing assembly for guiding the evaporated material from the material source into the vacuum chamber (100) is described. Extending nozzle, the nozzle inlet for receiving the vaporized material (110), a nozzle outlet for releasing the evaporated material into the vacuum chamber (120), and the flow direction (111) from the nozzle inlet (110) to the nozzle outlet (120) It includes a nozzle passage (130) for standing, comprising a nozzle passage (130), an outlet section (131) having an opening angle (alpha) which continuously increases the flow direction (111). Furthermore, the material deposited structure having such a nozzle, a vacuum deposition system having a material deposition source arrangement, and a method for depositing the vaporized material is provided.
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公开/授权文献:
- JP6657239B2 材料堆積源構成の分配アセンブリのためのノズル、材料堆積源構成、真空堆積システム、及び材料を堆積させるための方法 公开/授权日：2020-03-04