基本信息:
- 专利标题: 近赤外分光法及び機械学習技術による、製造工程におけるエンドポイント検出
- 专利标题(英):JP2018189638A - By near-infrared spectroscopy and machine learning techniques, endpoint detection in a manufacturing process
- 申请号:JP2018078847 申请日:2018-04-17
- 公开(公告)号:JP2018189638A 公开(公告)日:2018-11-29
- 发明人: チャンメン ション , ペン ゾー , ラン スン
- 申请人: ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド , Viavi Solutions Inc.
- 申请人地址: アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95002 サンノゼ アメリカ センター ドライブ 6001
- 专利权人: ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド,Viavi Solutions Inc.
- 当前专利权人: ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド,Viavi Solutions Inc.
- 当前专利权人地址: アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95002 サンノゼ アメリカ センター ドライブ 6001
- 代理人: 杉村 憲司; 杉村 光嗣; 吉澤 雄郎
- 优先权: US15/586,678 2017-05-04
- 主分类号: G06N99/00
- IPC分类号: G06N99/00 ; G01N21/35
A monitors the manufacturing process, the manufacturing process is to provide an apparatus and method can identify when it has reached a steady state. A device can receive the learning spectrum data relating to the manufacturing process of transition to a steady state from the non-steady state. The apparatus may be based on the learning spectrum data to produce multiple iterations of support vector machine (SVM) classification model. The apparatus may be based on multiple iterations of the SVM classification model to determine a predicted transition time associated with the manufacturing process. The predicted transition time certain of the plurality of prediction transition time, during the manufacturing process, the corresponding iterations of the SVM classification model, identifying the time of predicting that the manufacturing process is shifted to the steady state from the non-steady state can. The device, based on the plurality of predicted transition time can manufacturing process to produce the final SVM classification model associated to determine whether steady state was reached. .FIELD 4
公开/授权文献:
- JP6968745B2 近赤外分光法及び機械学習技術による、製造工程におけるエンドポイント検出 公开/授权日:2021-11-17
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
G | 物理 |
--G06 | 计算;推算或计数 |
----G06N | 基于特定计算模型的计算机系统 |
------G06N99/00 | 本小类其他各组中不包括的技术主题 |