基本信息:
- 专利标题： バリア化学機械平坦化のための添加剤
- 专利标题（英）：JP2018019075A - Additives for barrier chemical mechanical planarization
- 申请号：JP2017128672 申请日：2017-06-30
- 公开(公告)号：JP2018019075A 公开(公告)日：2018-02-01
- 发明人： メイトランド ゲイリー グレアム , マティアス シュテンダー , ドンヤネシュ チャンドラカント タンボリ , シャオボー シー
- 申请人： バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー
- 申请人地址： アメリカ合衆国,アリゾナ 85284,テンピ,サウス リバー パークウェイ 8555
- 专利权人： バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー
- 当前专利权人： バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国,アリゾナ 85284,テンピ,サウス リバー パークウェイ 8555
- 代理人： 青木 篤; 石田 敬; 古賀 哲次; 蛯谷 厚志; 胡田 尚則; 出野 知; 木村 健治
- 优先权： US62/357,571 2016-07-01 US15/630,584 2017-06-22
- 主分类号： C09K3/14
- IPC分类号： C09K3/14 ; B24B37/00 ; H01L21/304
摘要：
【課題】低い濃度の研磨粒子を使用して、高い研磨速度を有する研磨組成物を提供する。 【解決手段】適切な化学添加剤を含むバリア化学機械平坦化研磨組成物が提供される。適切な化学添加剤は、ケイ酸塩化合物及び高分子量ポリマー/コポリマーである。このバリア化学気機械平坦化研磨組成物を使用した化学機械研磨方法がまた提供される。 【選択図】なし
公开/授权文献:
- JP6643281B2 バリア化学機械平坦化のための添加剤 公开/授权日：2020-02-12
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C09 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 |
| ----C09K | 不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用 |
| ------C09K3/00 | 不包含在其他类目中的材料 |
| --------C09K3/14 | .防滑材料；研磨材料 |