基本信息:
- 专利标题： アルコール化合物、(メタ)アクリル酸エステル、重合体およびその製造方法、レジスト組成物、パターンが形成された基板の製造方法
- 专利标题（英）：JP2018009023A - Alcohol compound, (meth) acrylate, polymer and method for producing the same, resist composition, and method for producing substrate with pattern formed thereon
- 申请号：JP2017183545 申请日：2017-09-25
- 公开(公告)号：JP2018009023A 公开(公告)日：2018-01-18
- 发明人： 佐久間 諭 , 芹澤 昌史 , 安田 敦 , 矢田 信久 , 前田 晋一
- 申请人： 三菱ケミカル株式会社
- 申请人地址： 東京都千代田区丸の内1−1−1
- 专利权人： 三菱ケミカル株式会社
- 当前专利权人： 三菱ケミカル株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区丸の内1−1−1
- 代理人： 田▲崎▼ 聡; 伏見 俊介; 大浪 一徳
- 优先权： JP2011132183 2011-06-14 JP2011210667 2011-09-27
- 主分类号： C08F20/28
- IPC分类号： C08F20/28 ; G03F7/039 ; G03F7/20 ; C07D493/18
摘要：
【課題】不純物の含有量が少ない、ノルボルナンラクトン骨格を含むアルコール化合物、不純物の含有量が少ない、ノルボルナンラクトン骨格を含む(メタ)アクリル酸エステル、これを用いた重合体とその製造方法、該重合体を含むレジスト組成物、および該レジスト組成物を用いてパターンが形成された基板を製造する方法を提供する。 【解決手段】不純物として下記一般式(ii)で表される化合物の含有量が9質量%未満である、下記一般式(D)で表されるアルコール化合物。 [化1] 【選択図】なし
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C08 | 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 |
| ----C08F | 仅用碳—碳不饱和键反应得到的高分子化合物 |
| ------C08F20/00 | 具有1个或更多的不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物，每个不饱和脂族基只有1个碳—碳双键，并且只有1个是以羧基或它的盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端 |
| --------C08F20/02 | .具有少于10个碳原子的一元羧酸；它的衍生物 |
| ----------C08F20/10 | ..酯 |
| ------------C08F20/22 | ...含卤素的酯 |
| --------------C08F20/28 | ....在醇部无芳香环 |