基本信息:
- 专利标题: アルコール化合物、(メタ)アクリル酸エステル、重合体およびその製造方法、レジスト組成物、パターンが形成された基板の製造方法
- 专利标题(英):JP2018009023A - Alcohol compound, (meth) acrylate, polymer and method for producing the same, resist composition, and method for producing substrate with pattern formed thereon
- 申请号:JP2017183545 申请日:2017-09-25
- 公开(公告)号:JP2018009023A 公开(公告)日:2018-01-18
- 发明人: 佐久間 諭 , 芹澤 昌史 , 安田 敦 , 矢田 信久 , 前田 晋一
- 申请人: 三菱ケミカル株式会社
- 申请人地址: 東京都千代田区丸の内1−1−1
- 专利权人: 三菱ケミカル株式会社
- 当前专利权人: 三菱ケミカル株式会社
- 当前专利权人地址: 東京都千代田区丸の内1−1−1
- 代理人: 田▲崎▼ 聡; 伏見 俊介; 大浪 一徳
- 优先权: JP2011132183 2011-06-14 JP2011210667 2011-09-27
- 主分类号: C08F20/28
- IPC分类号: C08F20/28 ; G03F7/039 ; G03F7/20 ; C07D493/18
摘要:
【課題】不純物の含有量が少ない、ノルボルナンラクトン骨格を含むアルコール化合物、不純物の含有量が少ない、ノルボルナンラクトン骨格を含む(メタ)アクリル酸エステル、これを用いた重合体とその製造方法、該重合体を含むレジスト組成物、および該レジスト組成物を用いてパターンが形成された基板を製造する方法を提供する。 【解決手段】不純物として下記一般式(ii)で表される化合物の含有量が9質量%未満である、下記一般式(D)で表されるアルコール化合物。 [化1] 【選択図】なし