基本信息:
- 专利标题： スライス・アンド・ビュー試料画像化のための方法および装置
- 专利标题（英）：Method and apparatus for slice and view sample imaging
- 申请号：JP2016569868 申请日：2015-06-11
- 公开(公告)号：JP2017517120A 公开(公告)日：2017-06-22
- 发明人： ヴァレリー・ブローデン
- 申请人： エフ・イ−・アイ・カンパニー
- 申请人地址： アメリカ合衆国オレゴン州97124,ヒルズバラ,ノースイースト・ドーソンクリーク・ドライブ5350
- 专利权人： エフ・イ−・アイ・カンパニー
- 当前专利权人： エフ・イ−・アイ・カンパニー
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国オレゴン州97124,ヒルズバラ,ノースイースト・ドーソンクリーク・ドライブ5350
- 代理人： 雨貝 正彦
- 优先权： US14/292,606 2014-05-30
- 国际申请： IB2015054439 JP 2015-06-11
- 国际公布： WO2015181808 JP 2015-12-03
- 主分类号： H01J37/22
- IPC分类号： H01J37/22 ; H01J37/28 ; H01J37/317
Method of processing slice and view a sample using a dual beam system, apparatus and system. The slice and view process, exposing the vertical walls of the trench formed in the sample surface, by asking the wall using a query beam, in this wall relative to the beam first orientation the method comprising capturing a first image of the wall during certain, by querying this wall this wall relative to the beam with the beam while in the second orientation, the walls first the method comprising: capturing a second image, a first distance between a reference point and the surface point on the wall on the first image, between the reference point and the surface point on the second image Unlike the second distance, the curve using the first distance and the second distance, determining the height of the surface point, and use these heights, the shape of the wall including fitting a.
公开/授权文献:
- JP6506780B2 スライス・アンド・ビュー試料画像化のための方法および装置 公开/授权日：2019-04-24