基本信息:
- 专利标题： 圧電性プレートを製造する方法、および圧電性プレートの流体アセンブリ溶剤
- 专利标题（英）：JP2017220666A - Method for fabricating piezoelectric plates, and fluidic assembly solution of piezoelectric plates
- 申请号：JP2017100161 申请日：2017-05-19
- 公开(公告)号：JP2017220666A 公开(公告)日：2017-12-14
- 发明人： マーク アルバート クラウダー , チャンチン チャン , カレン ユリ ニシムラ , ポール ジェイ シューエル
- 申请人： シャープ株式会社
- 申请人地址： 大阪府堺市堺区匠町1番地
- 专利权人： シャープ株式会社
- 当前专利权人： シャープ株式会社
- 当前专利权人地址： 大阪府堺市堺区匠町1番地
- 代理人： 特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
- 优先权： US15/171,521 2016-06-02
- 主分类号： H01L41/45
- IPC分类号： H01L41/45 ; H01L41/318 ; H01L41/332 ; H01L41/43 ; H01L41/187 ; H01L41/193 ; H01L41/113 ; C04B41/80 ; H04R31/00 ; H01L41/331
摘要：
【課題】低コストの薄膜センサ素子と互換性のある、高い焼鈍温度を有する圧電性構造物を製造する方法を提供する。 【解決手段】圧電性プレートを製造する方法が提供される。防食層が成長基板の上に形成される。防食層の表面を露出させる開口を有するテンプレート層が、防食層の上に形成される。防食層の表面の上に位置する開口内には、接着層/第1電極材料のスタックが選択的に堆積され、当該スタックの上には、圧電性材料が堆積される。その後、圧電性材料の上には第2電極が形成される。ハードマスクとして第2電極を用いることにより、圧電性材料には、防食層に接触する位置に、ディスクのような多角形の形状を有する構造を形成するようにエッチング処理が行われる。テンプレート層の除去および焼鈍の後、多角形の形状を有する構造は、防食層から分離される。成長基板の材料を適切に選択することにより、焼鈍は相対的に高い温度で実行することができる。 【選択図】図1
公开/授权文献:
- JP6312903B2 圧電性プレートを製造する方法、および圧電性プレートの流体アセンブリ溶剤 公开/授权日：2018-04-18
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H04 | 电通信技术 |
| ----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
| ------H01L41/16 | .材料的选择 |
| --------H01L41/253 | ..对器件或其部件进行处理以改变压电或电致伸缩特性，例如极化特性、振动特性或模式调整 |
| ----------H01L41/45 | ...有机材料 |