基本信息:
- 专利标题： インプリント装置、およびインプリントシステム内の歪みを補正するインプリント方法
- 专利标题（英）：JP2017212439A - Imprint device, and imprint method for correcting distortion in imprint system
- 申请号：JP2017098400 申请日：2017-05-17
- 公开(公告)号：JP2017212439A 公开(公告)日：2017-11-30
- 发明人： アンシュマン チェララ
- 申请人： キヤノン株式会社
- 申请人地址： 東京都大田区下丸子3丁目30番2号
- 专利权人： キヤノン株式会社
- 当前专利权人： キヤノン株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都大田区下丸子3丁目30番2号
- 代理人： 大塚 康徳; 大塚 康弘; 高柳 司郎; 木村 秀二; 下山 治; 永川 行光
- 优先权： US15/162,130 2016-05-23
- 主分类号： B29C59/02
- IPC分类号： B29C59/02 ; H01L21/027
摘要：
【課題】テンプレートや基板の面内歪の歪みを補正し、オーバーレイ精度を向上するインプリント装置、及びインプリント方法を提供する。 【解決手段】インプリント装置は、基板100を支持する基板ホルダ114と、テンプレート118を支持するテンプレートチャック128と、前記基板、前記基板ホルダ、前記リソグラフィテンプレート、又はそれらの任意の組み合わせにおける歪みの少なくとも一部に基づいて、特定エリアに成形可能材料の所定の量を塗布する塗布パターンを決定するようにように構成されたプロセッサ154とを含む。 【選択図】図1
公开/授权文献:
- JP6924071B2 インプリント装置、およびインプリントシステム内の歪みを補正するインプリント方法 公开/授权日：2021-08-25
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B29 | 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工 |
| ----B29C | 塑料的成型或连接；塑性状态物质的一般成型；已成型产品的后处理，如修整 |
| ------B29C59/00 | 表面成型，如压花；所用的设备 |
| --------B29C59/02 | .用机械方法，如压制 |