基本信息:
- 专利标题： 製造された基板上の点在したホットスポット領域を検査する方法および装置
- 专利标题（英）：JP2017199686A - Method and apparatus for inspecting scattered hot spot areas on manufactured substrate
- 申请号：JP2017111457 申请日：2017-06-06
- 公开(公告)号：JP2017199686A 公开(公告)日：2017-11-02
- 发明人： ウー ショーン エックス , ヴィヴェーカーナンド キニ
- 申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
- 申请人地址： アメリカ合衆国、95035、カリフォルニア州、ミルピタス、ワン テクノロジイ ドライブ
- 专利权人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
- 当前专利权人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国、95035、カリフォルニア州、ミルピタス、ワン テクノロジイ ドライブ
- 代理人： 特許業務法人YKI国際特許事務所
- 优先权： US12/966,906 2010-12-13
- 主分类号： H01J37/22
- IPC分类号： H01J37/22 ; H01J37/28 ; H01L21/66 ; H01L21/68 ; H01J37/20
摘要：
【課題】製造された基板上の多数のホットスポットを検査する速さを上げる。 【解決手段】電子ビーム装置の視界を移動させて、その移動する視界が基板上のターゲット領域を覆うように、基板を保持する段818が経路に沿って移動する。移動する視界内のホットスポット領域の軸外イメージングが行われる。移動する視界内のホットスポット領域の数を決定することが可能であり、移動する視界内のホットスポット領域の数に基づいて、段の移動の速さをシステム制御装置840で調整する。 【選択図】図8