基本信息:
- 专利标题： 荷電粒子ビームシステム
- 专利标题（英）：JP2017188459A - The charged particle beam system
- 申请号：JP2017075536 申请日：2017-04-05
- 公开(公告)号：JP2017188459A 公开(公告)日：2017-10-12
- 发明人： ウェイジエ ファン , ジョン エイ ノッテ
- 申请人： カール ツァイス マイクロスコーピー エルエルシー
- 申请人地址： アメリカ合衆国 ニューヨーク州 10594 ソーンウッド ワン ツァイス ドライブ
- 专利权人： カール ツァイス マイクロスコーピー エルエルシー
- 当前专利权人： カール ツァイス マイクロスコーピー エルエルシー
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 ニューヨーク州 10594 ソーンウッド ワン ツァイス ドライブ
- 代理人： 杉村 憲司; 杉村 光嗣; 下地 健一
- 优先权： US62/318,975 2016-04-06
- 主分类号： H01J37/08
- IPC分类号： H01J37/08 ; H01J37/317 ; H01J27/08
摘要：
【課題】外部ハウジングと、導電性チップと、作動ガスをチップ付近に供給するよう構成されたガス供給系と、チップを冷却するよう構成された冷却システムとを備えたイオン源、及び該イオン源を備えた荷電粒子ビームシステムを提供する。 【解決手段】外部真空壁90と、チップ34と、作動ガスを内部ガス封じ込め容器41に供給するガス供給系92により構成され、ガス供給系92は中空内部を有する熱伝導率の高い材料でできている第1管94を有し、第1管94の内面の少なくとも一部は化学ゲッター97でコーティングされており、第1管94は第1熱伝導体95及びフレキシブル熱伝導体32を介してデュワ52に接続され、冷却される。 【選択図】図5
公开/授权文献:
- JP6951102B2 荷電粒子ビームシステム 公开/授权日：2021-10-20
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/04 | ..电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 |
| ------------H01J37/08 | ...离子源；离子枪 |