基本信息:
- 专利标题： 検査装置及び検査方法
- 专利标题（英）：Inspection apparatus and method
- 申请号：JP2016031170 申请日：2016-02-22
- 公开(公告)号：JP2017151155A 公开(公告)日：2017-08-31
- 发明人： 小笠原 宗博
- 申请人： 株式会社ニューフレアテクノロジー
- 申请人地址： 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1
- 专利权人： 株式会社ニューフレアテクノロジー
- 当前专利权人： 株式会社ニューフレアテクノロジー
- 当前专利权人地址： 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1
- 代理人： 重野 剛; 重野 隆之
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G01N23/225 ; G01B15/04 ; G03F1/84
摘要：
【課題】ビームのぼけや移動に伴う検査精度の低下を防止する。 【解決手段】本実施形態による検査装置は、複数のエネルギービームを含むマルチビームを基板110に照射する照射部と、基板110から放出される荷電粒子による複数の荷電粒子ビームが結像し、各荷電粒子ビームを電気信号として検出する検出器130と、検出された電気信号に基づいて再構成された基板110に形成されたパターンの画像データと、参照画像データとを比較し、パターン検査を行う比較部212と、を備える。検出器130は、各荷電粒子ビームに対応した複数の検出素子132を有し、検出素子132のサイズは、検出器130に結像する荷電粒子ビームの像のビームぼけを含めたサイズよりも大きい。 【選択図】図1
公开/授权文献:
- JP6642092B2 検査装置及び検査方法 公开/授权日：2020-02-05