基本信息:
- 专利标题： 洗浄用組成物および洗浄方法
- 专利标题（英）：Cleaning compositions and cleaning methods
- 申请号：JP2015245033 申请日：2015-12-16
- 公开(公告)号：JP2017112200A 公开(公告)日：2017-06-22
- 发明人： 三星 蘭 , 亀井 康孝 , 羽山 孝弘
- 申请人： JSR株式会社
- 申请人地址： 東京都港区東新橋一丁目9番2号
- 专利权人： JSR株式会社
- 当前专利权人： JSR株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都港区東新橋一丁目9番2号
- 代理人： 大渕 美千栄; 布施 行夫; 松本 充史
- 主分类号： C11D3/37
- IPC分类号： C11D3/37 ; C11D7/34 ; H01L21/304
摘要：
【課題】配線基板に用いられる配線材料およびバリアメタル材料の腐食や欠陥の発生を同時に抑制すると共に、配線基板上の金属酸化膜や有機残渣を効率的に除去することができる洗浄用組成物、およびそれを用いた洗浄方法を提供する。 【解決手段】配線基板の洗浄用組成物であって、スルフィニル基を有する化合物を含有する。前記化合物は、スルフィニル基を側鎖に有する繰り返し単位を有する重合体(A)を含有し、前記スルフィニル基を側鎖に有する繰り返し単位は、下記式(1)で表される。 【化1】 (一般式(1)中、R 3 は直接結合または炭素数1〜24の2価の有機基を示し、R 4 は置換基を有していてもよい炭素数1〜20のアルキル基または置換基を有していてもよい炭素数6〜20のアリール基を示す。) 【選択図】なし
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C11 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 |
| ----C11D | 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 |
| ------C11D3/00 | 包括在C11D1/00组内之洗涤组合物的其他配料成分 |
| --------C11D3/02 | .无机化合物 |
| ----------C11D3/37 | ..聚合物 |