基本信息:
- 专利标题： 光学的な表面粗さ測定
- 专利标题（英）：Optical surface roughness measurement
- 专利标题（中）：光学表面粗糙度测量
- 申请号：JP2016542358 申请日：2014-09-04
- 公开(公告)号：JP2016535278A 公开(公告)日：2016-11-10
- 发明人： スタセイ、クライグ・ダニエル , サージェント、ジェフリー・ポール
- 申请人： ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ−BAE SYSTEMS plc , ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ−BAE SYSTEMS plc
- 申请人地址： イギリス国、エスダブリュ1ワイ・5エーディー、ロンドン、カールトン・ガーデンズ 6
- 专利权人： ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ−BAE SYSTEMS plc,ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ−BAE SYSTEMS plc
- 当前专利权人： ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ−ＢＡＥ ＳＹＳＴＥＭＳ ｐｌｃ,ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ−ＢＡＥ ＳＹＳＴＥＭＳ ｐｌｃ
- 当前专利权人地址： イギリス国、エスダブリュ1ワイ・5エーディー、ロンドン、カールトン・ガーデンズ 6
- 代理人： 蔵田 昌俊; 野河 信久; 河野 直樹; 井上 正; 鵜飼 健; 飯野 茂
- 优先权： GB1316099.9 2013-09-10 EP13275206.4 2013-09-10
- 国际申请： GB2014052661 JP 2014-09-04
- 国际公布： WO2015036732 JP 2015-03-19
- 主分类号： G01B11/30
- IPC分类号： G01B11/30 ; G01N21/01 ; G01N21/47
To allow measurement of the surface roughness of the material, optical surface roughness measuring possible configurations and methods are disclosed. Arrangement, in order to irradiate the surface of the material with radiation directed along a first axis, a radiation source for generating a beam of radiation is collimated along the first axis, the second to refract the beam along a second axis which is non-parallel to the first axis, in order to irradiate the surface of the material with radiation directed along a second axis, the optical synchrotron radiation beam comprising a refractive optical element alignable incident on the first shaft and the surface along a second axis, it is reflected from the surface of the material, and a detector arranged to detect the emitted light . Configuration and method for optical surface roughness measurement is also disclosed to provide a measurement value of the surface roughness.
公开/授权文献:
- JP6301477B2 光学的な表面粗さ測定 公开/授权日：2018-03-28
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/30 | .用于计量表面的粗糙度和不规则性 |