基本信息:
- 专利标题： 有機白金化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法
- 专利标题（英）：Chemical vapor deposition method using a chemical vapor deposition for the raw materials and the chemical vapor deposition for the raw material made of an organic platinum compound
- 申请号：JP2015096976 申请日：2015-05-12
- 公开(公告)号：JP2016210741A 公开(公告)日：2016-12-15
- 发明人： 原田 了輔 , 重冨 利幸 , 鈴木 和治 , 鍋谷 俊一 , 熊倉 亜希子 , 青山 達貴 , 曽根 孝之
- 申请人： 田中貴金属工業株式会社
- 申请人地址： 東京都千代田区丸の内2丁目7番3号
- 专利权人： 田中貴金属工業株式会社
- 当前专利权人： 田中貴金属工業株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区丸の内2丁目7番3号
- 代理人： 特許業務法人田中・岡崎アンドアソシエイツ
- 主分类号： C23C16/18
- IPC分类号： C23C16/18 ; C07F15/00
摘要：
【課題】低温で成膜可能で、保管時や気化段階での十分な熱安定性を有するCVD用白金化合物の提供。 【解決手段】下式で表される2価の白金に、2つのイミンを含むジイミンと、アルキルアニオンとが配位した、蒸気圧が高く、分解温度が低いCVD用白金化合物。 [R 1 〜R 4 はH、C5以下のアルキル基、シアノ基等;アルキルアニオンR 5 及びR 6 は各々独立にC1〜3のアルキル基] 【選択図】図2
摘要（英）：
The present invention can be formed at a low temperature, providing for CVD platinum compound with sufficient thermal stability in storage or during vaporization step.
The A divalent platinum of the following formula, a diimine containing two imine, alkyl anion is coordinated, high vapor pressure, the decomposition temperature is low for CVD platinum compound.
[R 1 ~R 4 is H, C5 an alkyl group, cyano group, alkyl group of the alkyl anions
R 5 and
R. 6 C1-3 each independently]
.FIELD 2
公开/授权文献:
- JP5952460B1 有機白金化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法 公开/授权日：2016-07-13