基本信息:
- 专利标题： タンタル酸リチウム単結晶基板及びこれを接合した接合基板とこれら基板を用いた弾性表面波デバイス
- 专利标题（英）：The surface acoustic wave device using a bonding substrate and these substrates were bonded lithium single crystal substrate and which tantalate
- 专利标题（中）：使用接合基板和基板上的表面声波器件接合锂单晶基板和钽
- 申请号：JP2015083941 申请日：2015-04-16
- 公开(公告)号：JP2016204174A 公开(公告)日：2016-12-08
- 发明人： 丹野 雅行 , 阿部 淳 , 加藤 公二 , 桑原 由則
- 申请人： 信越化学工業株式会社
- 申请人地址： 東京都千代田区大手町二丁目6番1号
- 专利权人： 信越化学工業株式会社
- 当前专利权人： 信越化学工業株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区大手町二丁目6番1号
- 代理人： 沼澤 幸雄
- 主分类号： H03H9/25
- IPC分类号： H03H9/25 ; C30B31/02 ; C30B33/06 ; C04B37/00 ; C04B37/02 ; C30B29/30
The present invention warpage is small, with no cracks or scratches, deer, temperature characteristic is better than the conventional rotary Y cut lithium tantalate substrate, electro-mechanical coupling coefficient is large, and further, Q value of the device is high tantalum provision of lithium single crystal substrate.
A By the crystal orientation is Li is diffused into the interior from the rotation 36 ° Y~49 ° Y rotated Y-cut lithium tantalate substrate surface of a cut, the concentration profile of Li concentration of the substrate surface and the substrate internal different There are formed, from the substrate surface, up to 5-15 times the depth of the wavelength of the surface acoustic wave or leaky surface acoustic wave propagating substrate surface, single-polarized treated lithium tantalate single having a schematic uniform Li concentration crystal substrate.
.BACKGROUND
公开/授权文献:
- JP6335831B2 接合基板の製造方法 公开/授权日：2018-05-30
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03H | 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 |
| ------H03H9/00 | 包括机电或电声元件的网络，如谐振电路 |
| --------H03H9/25 | .应用声表面波的谐振器的结构特点 |