基本信息:
- 专利标题: 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ
- 专利标题(英):Piezoelectric thin film resonator, filter and duplexer
- 专利标题(中):压电薄膜共振器,滤波器和双工器
- 申请号:JP2014231794 申请日:2014-11-14
- 公开(公告)号:JP2016096466A 公开(公告)日:2016-05-26
- 发明人: 谷口 眞司 , 西原 時弘 , 横山 剛 , 坂下 武
- 申请人: 太陽誘電株式会社
- 申请人地址: 東京都台東区上野6丁目16番20号
- 专利权人: 太陽誘電株式会社
- 当前专利权人: 太陽誘電株式会社
- 当前专利权人地址: 東京都台東区上野6丁目16番20号
- 代理人: 片山 修平
- 主分类号: H03H9/54
- IPC分类号: H03H9/54 ; H03H9/70 ; H03H9/17
摘要:
【課題】圧電薄膜共振器の特性を向上させること。 【解決手段】基板10と、前記基板上に設けられた圧電膜14と、前記圧電膜の少なくとも一部を挟んで対向した下部電極12および上部電極16と、前記圧電膜中に挿入され、前記圧電膜を挟み前記下部電極と前記上部電極とが対向する共振領域50内の外周領域52の少なくとも一部に設けられ、前記共振領域の中央領域54には設けられていない挿入膜28と、を具備し、前記共振領域内の前記挿入膜が挿入された第1領域における前記圧電膜と前記挿入膜との合計膜厚と、前記挿入膜が挿入されていない第2領域における前記圧電膜の膜厚と、の差は前記挿入膜の膜厚より小さい圧電薄膜共振器。 【選択図】図1
摘要(中):
要解决的问题:提高压电薄膜谐振器的特性。解决方案:压电薄膜谐振器包括:基板10; 设置在基板上的压电膜14; 下电极12和上电极16,其彼此相对以夹在其间的至少一部分压电膜; 以及插入到压电膜中的插入膜28,其设置在谐振区域50中至少在外周区域52的一部分处,其中下电极和上电极彼此面对以将压电膜夹在其间,并且不设置在 谐振区域的中心区域54。 插入膜插入共振区域的第一区域中的插入膜和压电膜的总膜厚与插入膜未插入的第二区域中的压电膜的厚度之间的差小于 插入膜的膜厚度。选择图:图1
公开/授权文献:
- JP6594619B2 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ 公开/授权日:2019-10-23
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H03 | 基本电子电路 |
----H03H | 阻抗网络,例如谐振电路;谐振器 |
------H03H9/00 | 包括机电或电声元件的网络,如谐振电路 |
--------H03H9/30 | .时延网络 |
----------H03H9/54 | ..包含由压电或电致伸缩材料构成的谐振器 |