基本信息:
- 专利标题： 極低温冷却のためのシステム
- 专利标题（英）：Systems for cryogenic cooling
- 专利标题（中）：低温冷却系统
- 申请号：JP2015186263 申请日：2015-09-24
- 公开(公告)号：JP2015227775A 公开(公告)日：2015-12-17
- 发明人： バートレット・アレン・ジェイ , ジョンソン・ウィリアム , コリンズ・マーク , シソエフ・セルゲイ , オニール・ジェームズ・エー , エアコバッチ・マイケル・ジェイ・ジュニア
- 申请人： ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
- 申请人地址： アメリカ合衆国 マサチューセッツ州 01824 チェルムスフォード エリザベス ドライブ 15
- 专利权人： ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
- 当前专利权人： ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 マサチューセッツ州 01824 チェルムスフォード エリザベス ドライブ 15
- 代理人： 杉本 修司; 野田 雅士; 堤 健郎; 林田 久美子; 中田 健一; 金子 大輔
- 优先权： US61/363,514 2010-07-12 US61/333,801 2010-05-12
- 主分类号： F25B9/00
- IPC分类号： F25B9/00 ; F25B7/00
摘要：
【課題】半導体プロセス等の分野で、極低温での冷却が可能なシステムを提供する。 【解決手段】本発明は、閉ループ一次冷却システムと、二次冷却システムと、システム制御ユニットとを備え、負荷を冷却するシステムである。一次冷却システムは、一次冷媒を取り込んで高圧で送出する一次コンプレッサーと、一次冷媒を一次コンプレッサーから受け取る入口及び低圧で返送する出口を備える断熱容器と、断熱容器内で高圧の一次冷媒を二次冷却システムからの二次冷媒で冷却する熱交換器と、断熱容器内で熱交換器から一次冷媒を受け取って低圧で送出する膨張ユニットと、一次冷媒を負荷に低圧で送出する供給ライン及び一次冷却システムに返送する返送ラインとを備える。二次冷却システムは二次極低温冷却器を備え、システム制御ユニットは、一次冷却システム等の動作を制御し、負荷に送出される一次冷媒の圧力等に基づいて、負荷に対する可変の冷却能力を供給する。 【選択図】図4
摘要（中）：
要解决的问题：提供一种在半导体工艺等领域能够进行非常低温冷却的系统。解决方案：该系统包括闭环主要制冷系统，二次制冷系统和系统控制单元， 并且用于冷却负载。 一次制冷系统具备：主压缩机，用于吸入一次制冷剂并在高压下排出一次制冷剂; 绝缘外壳，其具有用于从初级压缩机接收初级制冷剂的入口和用于将初级制冷剂以低压返回到主压缩机的出口; 绝热外壳内的热交换器，用于使用来自二次制冷系统的二次制冷剂冷却高压初级制冷剂; 绝缘壳体内的膨胀单元，用于从热交换器接收初级制冷剂并以低压排出初级制冷剂; 以及用于将低压的一次制冷剂输送到负载的供给管线和用于将初级制冷剂返回到一次制冷系统的返回管路。 次级制冷系统包括二次低温冰箱，系统控制单元控制主要制冷系统等的操作，从而基于传递到负载的一次制冷剂的压力向负载提供可变制冷量。
公开/授权文献:
- JP6203800B2 極低温冷却のためのシステム 公开/授权日：2017-09-27