基本信息:
- 专利标题： 架橋性ポリマー及び下層組成物
- 专利标题（英）：Crosslinkable polymers and underlayer compositions
- 专利标题（中）：可交联聚合物和底层组合物
- 申请号：JP2015000583 申请日：2015-01-05
- 公开(公告)号：JP2015131958A 公开(公告)日：2015-07-23
- 发明人： ジョングン・パク , ジビン・サン , クリストファー・ディー.ギルモア , チチェン・チャン , フィリップ・ディー.ハスタッド , ピーター・トレフォナス・ザ・サード , キャサリン・エム.オコンネル
- 申请人： ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー , ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー , Rohm and Haas Electronic Materials LLC
- 申请人地址： アメリカ合衆国 ミシガン州 48674,ミッドランド,ダウ センター 2040
- 专利权人： ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー,ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー,Rohm and Haas Electronic Materials LLC
- 当前专利权人： ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー,ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー,Rohm and Haas Electronic Materials LLC
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 ミシガン州 48674,ミッドランド,ダウ センター 2040
- 代理人： 特許業務法人センダ国際特許事務所
- 优先权： US61/922,760 2013-12-31
- 主分类号： C08F220/18
- IPC分类号： C08F220/18 ; H01L21/027 ; C08F212/06
摘要：
【課題】誘導自己組織化により微細パターンを形成し、半導体デバイス等製造に好適な架橋性ポリマーの提供。 【解決手段】式(I−A)で例示されるような置換基(R1)を有するアリール(Ar1)/シクロブテン縮合環構造を持つ架橋性ポリマー。 (Pは重合性官能基;Lは単結合結合又はm+1価の結合基;X 1 は一価の電子供与基;X 2 は二価の電子供与基;Ar 1 は三価アリール基;Ar 2 は二価のアリール;シクロブテン環の炭素原子は、Ar 1 又はAr 2 の同じ芳香環上の隣接する炭素原子に結合され;m及びnは各々1以上の整数;各R 1 は各々独立に一価の基) 【選択図】なし
摘要（中）：
要解决的问题：提供通过定向自组装形成精细图案的交联性聚合物，并适用于制造半导体器件等。解决方案：可交联聚合物具有具有取代基（R 1）的芳基（Ar 1）/环丁烯稠环结构， 由式（IA）表示。 （P为可聚合官能团; L为单键或（m + 1）价的连接基; X为单价给电子基团; X为二价给电子基团; Aris为三价芳基; Aris为二价芳基; 环丁烯环的碳原子与Aror Ar的相同芳环上的相邻碳原子键合; m和n各自为1以上的整数，各R各自独立地为一价基团。
公开/授权文献:
- JP6562633B2 架橋性ポリマー及び下層組成物 公开/授权日：2019-08-21
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C08 | 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 |
| ----C08F | 仅用碳—碳不饱和键反应得到的高分子化合物 |
| ------C08F220/00 | 具有1个或更多不饱和脂族基化合物的共聚物，每个不饱和脂族基只有1个碳—碳双键，并且只有1个是仅以羧基或它的盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端 |
| --------C08F220/02 | .具有少于10个碳原子的一元羧酸；它的衍生物 |
| ----------C08F220/10 | ..酯 |
| ------------C08F220/12 | ...一元醇或酚的 |
| --------------C08F220/16 | ....含两个或更多碳原子酚或醇的 |
| ----------------C08F220/18 | .....与丙烯酸或甲基丙烯酸 |