基本信息:
- 专利标题: 接合体の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法
- 专利标题(英):Method for manufacturing joining structure, and method for manufacturing substrate for power modules
- 专利标题(中):制造接合结构的方法以及用于制造功率模块的基板的方法
- 申请号:JP2013175003 申请日:2013-08-26
- 公开(公告)号:JP2015043393A 公开(公告)日:2015-03-05
- 发明人: TERASAKI NOBUYUKI , NAGATOMO YOSHIYUKI
- 申请人: 三菱マテリアル株式会社 , Mitsubishi Materials Corp
- 专利权人: 三菱マテリアル株式会社,Mitsubishi Materials Corp
- 当前专利权人: 三菱マテリアル株式会社,Mitsubishi Materials Corp
- 优先权: JP2013175003 2013-08-26
- 主分类号: H01L23/12
- IPC分类号: H01L23/12 ; H01L23/36
摘要:
【課題】セラミックス部材とCu部材とを良好に接合することができる接合体の製造方法、及びパワーモジュール用基板の製造方法を提供する。【解決手段】Pを3mass%以上10mass%以下含有するCu−P系ろう材と、活性金属材とを介して、セラミックス部材11とCu部材12とを積層する積層工程と、積層された前記セラミックス部材及び前記Cu部材を加熱処理する加熱処理工程と、を備えていることを特徴とする接合体の製造方法。前記積層工程において、前記セラミックス部材側に前記Cu−P系ろう材を配置し、前記Cu部材側に前記活性金属材を配置することが好ましい。【選択図】図1
摘要(中):
要解决的问题:提供一种允许陶瓷构件和Cu构件良好地接合在一起的接合结构的制造方法; 以及用于制造功率模块用基板的方法。解决方案:一种用于制造接合结构的方法,包括:层压步骤,用于通过活性金属材料和Cu-P基层压层压Cu构件12和陶瓷构件11 包括3-10质量%的P的钎料; 以及对陶瓷构件和Cu构件的所得层压进行热处理的热处理步骤。 优选的是,在层叠工序中,将Cu-P系钎料放在陶瓷部件的侧面,将活性金属材料放在Cu部件侧。
公开/授权文献:
- JP6127833B2 接合体の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法 公开/授权日:2017-05-17
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01L | 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件 |
------H01L23/00 | 半导体或其他固态器件的零部件 |
--------H01L23/12 | .安装架,例如不可拆卸的绝缘衬底 |