专利号JP2014538847 | 誘導結合プラズマチャンバのツイストロック式ガス注入器用の窓及び装着構造

专利标题：誘導結合プラズマチャンバのツイストロック式ガス注入器用の窓及び装着構造
专利标题（英）：Window and the mounting structure of the twist-lock type gas injection dexterity of an inductively coupled plasma chamber
专利标题（中）：窗口和电感耦合等离子体室的扭锁式气体喷射灵巧的安装结构
申请号：JP2014538847 申请日：2012-10-19
公开(公告)号：JP2014532990A 公开(公告)日：2014-12-08
发明人：シャトレ・リッシュ , シェーファー・デイビッド
申请人：ラムリサーチコーポレーションLam Research Corporation , ラムリサーチコーポレーションLam Research Corporation
专利权人：ラムリサーチコーポレーションLam Research Corporation,ラムリサーチコーポレーションLam Research Corporation
当前专利权人：ラムリサーチコーポレーションＬａｍＲｅｓｅａｒｃｈＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ,ラムリサーチコーポレーションＬａｍＲｅｓｅａｒｃｈＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ
优先权： US201113280750 2011-10-25
主分类号： H01L21/3065
IPC分类号： H01L21/3065 ; H05H1/46

摘要：

【解決手段】誘導結合プラズマチャンバの誘電体窓の中心孔に装着するための改良型ガス注入アセンブリは、バヨネット開口を有する環状インサートを収容するように構成される中心孔と円筒形凹部とを有する窓を備える。ガス注入器アセンブリは、ガス注入器と、ガス注入器を取り囲むRFシールドと、RFシールドを取り囲むフェイスプレートと、を備える。フェースプレートは、環状インサートのバヨネット開口に係合する突起部を、その底部に備える。窓及びガス注入アセンブリは、通常は石英で形成され、装着の事前準備で機械加工により形成されたバヨネット開口を備える窓が欠けないように、設計される。石英材料の脆弱性により、機械加工されたバヨネット開口は、ガス注入器アセンブリをバヨネット開口に挿入する際に欠けやすい。【選択図】図1

摘要（中）：

一种用于在电感耦合等离子体室的电介质窗口的中心孔安装的改进的气体喷射组件具有中心孔和圆柱形凹槽适于接收与卡口开口的环形插入件设置有一个窗口。气体喷射器组件包括气体喷射器，围绕所述气体喷射器的RF屏蔽，和面板周围的RF屏蔽时，。面板，其接合该环形插入物的卡口开口的突出部包括在其底部。窗口和气体喷射器组件通常由石英形成，以便不与通过机械加工在安装的预先准备形成卡口式开口被设计缺乏窗户。漏洞石英材料，在插入气体喷射组件以卡口开口时加工卡口开口可能碎裂。点域1

摘要（英）：

An improved gas injection assembly for mounting in the central hole of the dielectric window of the inductively coupled plasma chamber has a center hole and a cylindrical recess adapted to receive an annular insert with a bayonet opening equipped with a window. Gas injector assembly includes a gas injector, and the RF shield surrounding the gas injector, and the face plate surrounding the RF shield, the. Face plate, a projection to be engaged with the bayonet opening of the annular insert comprises at its bottom. Windows and gas injection assembly is generally formed of quartz, so as not to lack the windows comprise a bayonet opening formed by machining in the preparation of the mounting is designed. Vulnerability of quartz material, machined bayonet opening is likely to lack the time to insert a gas injector assembly to bayonet opening.
.FIELD 1

JP6215217B2 誘導結合プラズマチャンバのツイストロック式ガス注入器用の窓及び装着構造公开/授权日：2017-10-18

Espacenet

H	电学
--H01	基本电气元件
----H01L	半导体器件；其他类目未包含的电固体器件
------H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
--------H01L21/02	.半导体器件或其部件的制造或处理
----------H01L21/027	..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜
------------H01L21/18	...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
--------------H01L21/26	....用波或粒子辐射轰击的
----------------H01L21/302	.....改变半导体材料的表面物理特性或形状的，例如腐蚀、抛光、切割
------------------H01L21/306	......化学或电处理，例如电解腐蚀
--------------------H01L21/3065	.......等离子腐蚀；活性离子腐蚀

发明专利 JP2014532990A 誘導結合プラズマチャンバのツイストロック式ガス注入器用の窓及び装着構造 有权

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