基本信息:
- 专利标题： Process to pattern the material of the thin film device
- 申请号：JP2013556751 申请日：2012-02-24
- 公开(公告)号：JP2014515178A 公开(公告)日：2014-06-26
- 发明人： デフランコ，ジョン , ミラー，マイク , ホルト，フォックス
- 申请人： オーソゴナル,インコーポレイテッド
- 专利权人： オーソゴナル,インコーポレイテッド
- 当前专利权人： オーソゴナル，インコーポレイテッド
- 优先权： US201161448724 2011-03-03
- 主分类号： H01L51/50
- IPC分类号： H01L51/50 ; G09F9/00 ; G09F9/30 ; H01L21/336 ; H01L27/32 ; H01L29/786 ; H05B33/10
摘要：
【課題】光リソグラフィクステップが少ないOLED装置およびTFTを含む薄膜エレクトロニクス装置を形成させる。
【解決手段】本開示は、基板を供給すること；基板上に単一のフッ素化処理済みの光パターン化可能な層を堆積させること；基板上に第1および第2の活性層を形成させること；光パターン可能な層を適用させて前記第1の活性層内に第1のパターンを、および第2の活性層内に第2の異なるパターンを形成させること、を含む装置を形成する方法を提供する。
【選択図】図１
摘要（英）：
【解決手段】本開示は、基板を供給すること；基板上に単一のフッ素化処理済みの光パターン化可能な層を堆積させること；基板上に第1および第2の活性層を形成させること；光パターン可能な層を適用させて前記第1の活性層内に第1のパターンを、および第2の活性層内に第2の異なるパターンを形成させること、を含む装置を形成する方法を提供する。
【選択図】図１
The present invention relates to a thin film electronic devices, including optical lithography clock step is small OLED device, and TFTs.
A present disclosure, it supplies a substrate; forming a first and a second active layer on the substrate; depositing a single fluorinated treated photopatternable layer on the substrate it; a first pattern on said applied a light pattern possible layer first active layer, and thereby forming a second, different pattern on the second active layer, forming a device including a method to provide.
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