发明专利
JP2013239441A Vapor deposition device, vapor deposition method, and method for manufacturing organic electroluminescent display device
有权
基本信息:
- 专利标题: Vapor deposition device, vapor deposition method, and method for manufacturing organic electroluminescent display device
- 专利标题(中):蒸气沉积装置,蒸气沉积方法和制造有机电致发光显示装置的方法
- 申请号:JP2013126930 申请日:2013-06-17
- 公开(公告)号:JP2013239441A 公开(公告)日:2013-11-28
- 发明人: SONODA TORU , KAWATO SHINICHI , INOUE SATOSHI
- 申请人: Sharp Corp , シャープ株式会社
- 专利权人: Sharp Corp,シャープ株式会社
- 当前专利权人: Sharp Corp,シャープ株式会社
- 优先权: JP2010234625 2010-10-19
- 主分类号: H05B33/10
- IPC分类号: H05B33/10 ; C23C14/04 ; H01L51/50 ; H05B33/04 ; H05B33/12 ; H05B33/22
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vapor deposition method and a vapor deposition device, capable of forming a vapor deposition pattern on a large-sized substrate, and a method for manufacturing an organic EL display device, in which the vapor deposition method is used.SOLUTION: A vapor deposition device 50 in which a partition wall 26 stands between film formation regions on a film formation substrate 200 includes: a mask unit 80 including a shadow mask 81 and a vapor deposition source 85 fixed in position relative to each other; contacting means 71, 87, 88 for bringing the film formation substrate 200 into contact with the shadow mask 81 via the partition wall 26; and a moving means 70 for relatively moving at least one of the mask unit 80 and the film formation substrate 200 while the contact caused by the contacting means is kept. The partition wall 26 is formed in a stripe shape along a direction in which the moving means relatively moves the at least one of the mask unit and the film formation substrate, and a plurality of the partition walls are formed discontinuously.
摘要(中):
要解决的问题:提供能够在大尺寸基板上形成蒸镀图案的蒸镀法和蒸镀装置以及使用蒸镀法的有机EL显示装置的制造方法 解决方案:在成膜基板200上的成膜区域之间分隔壁26的气相沉积装置50包括:掩模单元80,其包括荫罩81和相对于彼此固定的位置的气相沉积源85; 用于使成膜基板200经由分隔壁26与荫罩81接触的接触装置71,87,88; 以及用于在保持由接触装置引起的接触的同时相对移动掩模单元80和成膜基板200中的至少一个的移动装置70。 分隔壁26沿着移动装置相对移动掩模单元和成膜基板中的至少一个的方向形成为条状,并且多个分隔壁不连续地形成。
公开/授权文献:
- JP5623598B2 蒸着装置、蒸着方法、並びに、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法 公开/授权日:2014-11-12
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H05 | 其他类目不包含的电技术 |
----H05B | 电热;其他类目不包含的电照明 |
------H05B33/00 | 电致发光光源 |
--------H05B33/10 | .专门适用于制造电致发光光源的设备或方法 |