基本信息:
- 专利标题: Multi-state memory cell with asymmetric charge trapping
- 专利标题(中):具有不对称电荷捕获的多状态存储单元
- 申请号:JP2010247676 申请日:2010-11-04
- 公开(公告)号:JP2011066436A 公开(公告)日:2011-03-31
- 发明人: PRALL KIRK
- 申请人: Micron Technology Inc , マイクロン テクノロジー、インコーポレイテッド
- 专利权人: Micron Technology Inc,マイクロン テクノロジー、インコーポレイテッド
- 当前专利权人: Micron Technology Inc,マイクロン テクノロジー、インコーポレイテッド
- 优先权: US78578504 2004-02-24
- 主分类号: H01L29/792
- IPC分类号: H01L29/792 ; G11C16/02 ; G11C16/04 ; H01L21/8247 ; H01L27/10 ; H01L27/115 ; H01L29/788
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a NAND type multi-state memory cell capable of achieving high memory density, low power consumption, and high reliability. SOLUTION: A NAND type multi-state memory cell has two drain/source regions on a substrate. At the upper part of the substrate between the two drain/source regions, an oxide-nitride-oxide structure is formed. The nitride layer acts as an asymmetric charge trapping layer. At the upper part of the oxide-nitride-oxide structure, a control gate is disposed. By applying an asymmetrical bias across the drain/source region, a high voltage is generated therein. Thereby, GIDL (Gate Induced Drain Leakage) hole injection processing is performed for the trapping layer substantially adjacent the drain/source region and holes are injected in an asymmetrical distribution. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要(中):
要解决的问题:提供能够实现高存储密度,低功耗和高可靠性的NAND型多状态存储单元。 解决方案:NAND型多态存储单元在衬底上具有两个漏极/源极区域。 在两个漏极/源极区之间的衬底的上部,形成氧化物 - 氧化物 - 氧化物结构。 氮化物层用作不对称电荷捕获层。 在氧化物 - 氧化物 - 氧化物结构的上部设置有控制栅极。 通过在漏极/源极区域上施加不对称偏置,在其中产生高电压。 由此,对于基本上与漏极/源极区域相邻的捕获层进行GIDL(栅极引入漏极泄漏)空穴注入处理,并且以非对称分布注入空穴。 版权所有(C)2011,JPO&INPIT
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01L | 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件 |
------H01L29/00 | 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件 |
--------H01L29/02 | .按其半导体本体的特征区分的 |
----------H01L29/68 | ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的 |
------------H01L29/70 | ...双极器件 |
--------------H01L29/762 | ....电荷转移器件 |
----------------H01L29/78 | .....由绝缘栅产生场效应的 |
------------------H01L29/792 | ......带有电荷捕获栅绝缘体,例如MNOS存储晶体管 |