基本信息:
- 专利标题： SALT COMPOUND, AND QUENCHER AND PHOTORESIST COMPOSITION COMPRISING SAME
- 申请号：EP21968295.2 申请日：2021-12-22
- 公开(公告)号：EP4450486A1 公开(公告)日：2024-10-23
- 发明人： KIM, Jaehyun , HUR, Myoung Hyun , KIM, Jeong Sik , YOO, Min Ja , LEE, Hyung Kun
- 申请人： Dongjin Semichem Co., Ltd.
- 申请人地址： KR Incheon 22824 644, Baekbeom-ro Seo-gu
- 专利权人： Dongjin Semichem Co., Ltd.
- 当前专利权人： Dongjin Semichem Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： KR Incheon 22824 644, Baekbeom-ro Seo-gu
- 代理机构： Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB
- 优先权： KR 210181042 2021.12.16
- 国际申请： KR2021019567 2021.12.22
- 国际公布： WO2023113086 2023.06.22
- 主分类号： C07C311/06
- IPC分类号： C07C311/06 ; C07C311/14 ; C07C311/17 ; C07C321/28 ; C07C323/22 ; C07C323/66 ; C07C25/18 ; C07D319/20 ; G03F7/004
摘要：
The present disclosure relates to: a salt compound comprising an anion having a specific structure represented by Chemical Formula 1, and a cation represented by Chemical Formula 2; a quencher including the salt compound; and a photoresist composition including the salt compound.
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C07 | 有机化学 |
| ----C07C | 无环或碳环化合物 |
| ------C07C311/00 | 磺酰胺，即磺基的单键氧原子被不属于硝基或亚硝基的氮原子取代的化合物 |
| --------C07C311/01 | .磺酰胺基的硫原子连接在非环碳原子上的磺酰胺 |
| ----------C07C311/02 | ..无环饱和碳架的 |
| ------------C07C311/03 | ...有磺酰胺基的氮原子连接在氢原子或非环碳原子上 |
| --------------C07C311/06 | ....连接在被羧基取代的烃基的非环碳原子上 |