基本信息:
- 专利标题： SCANNING RADICAL SENSOR USABLE FOR MODEL TRAINING
- 申请号：EP22904887.1 申请日：2022-11-08
- 公开(公告)号：EP4445405A1 公开(公告)日：2024-10-16
- 发明人： MOFFATT, Stephen , HILKENE, Martin
- 申请人： Applied Materials Inc;
- 申请人地址： US Santa Clara CA 95054 3050 Bowers Avenue
- 专利权人： Applied Materials Inc;
- 当前专利权人： Applied Materials Inc;
- 当前专利权人地址： US Santa Clara CA 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权： US 2117545618 2021.12.08
- 国际申请： US2022049322 2022.11.08
- 国际公布： WO2023107228 2023.06.15
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32