基本信息:
- 专利标题： METAL OXYFLUORIDE FILM FORMATION METHODS
- 申请号：EP22756875.5 申请日：2022-02-17
- 公开(公告)号：EP4294961A1 公开(公告)日：2023-12-27
- 发明人： DEEPAK, Nitin , NATU, Gayatri , HICKS, Albert Barrett , GORADIA, Prerna Sonthalia , SUN, Jennifer Y.
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： US Santa Clara, California 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权： US202217673345 20220216
- 国际公布： WO2022178046 20220825
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455 ; C23C16/30