基本信息:
- 专利标题： MEMS BEAM STRUCTURE AND MEMS VIBRATION-DRIVEN ENERGY HARVESTING ELEMENT
- 申请号：EP20741220.6 申请日：2020-01-14
- 公开(公告)号：EP3913787B1 公开(公告)日：2024-07-24
- 专利权人： Saginomiya Seisakusho, Inc.
- 当前专利权人： Saginomiya Seisakusho, Inc.
- 当前专利权人地址： 55-5, Wakamiya 2-chome Nakano-ku
- 代理机构： Kramer Barske Schmidtchen Patentanwälte PartG mbB
- 优先权： JP 19005388 2019.01.16
- 国际申请： JP2020000916 2020.01.14
- 国际公布： WO2020149265 2020.07.23
- 主分类号： H02N1/08
- IPC分类号： H02N1/08 ; B81B3/00 ; H01L29/84