Verfahren zur Herstellung einer Oxidschicht mit in die Oxidschicht integrierten nichtmetallischen Nanopartikeln auf einem Metallsubstrat mittels plasmaelektrolytischer Oxidation umfassend die Schritte: Bereitstellen eines Metallsubstrats und nichtmetallischer Nanopartikel in einem Elektrolyten, und Anlegen einer gepulsten Spannung an das Metallsubstrat, wobei die im Elektrolyten bereitgestellten Nanopartikel ein negatives Zetapotential in Bezug auf den Elektrolyten aufweisen, und wobei die gepulste Spannung Sequenzen von Plateaus mit im Wesentlichen konstanter Spannung oder konstanter Stromdichte aufweisen, wobei in Schritt A ein erstes Plateau mit im Wesentlichen konstanter positiver Spannung oder konstanter positiver Stromdichte angelegt wird, wobei die Nanopartikel an das Metallsubstrat angezogen werden, wobei in Schritt B die plasmaelektrolytische Oxidation des Metallsubstrats erfolgt und ein zweites Plateau mit im Wesentlichen konstanter positiver Spannung oder konstanter positiver Stromdichte angelegt wird, wobei die konstante positive Spannung oder konstante positive Stromdichte des zweiten Plateaus positiver ist, als jenes des ersten Plateaus, gegebenenfalls wiederholen der Schritte (A) und (B) und wobei in einem Schritt C ein drittes Plateau mit im Wesentlichen konstanter negativer Spannung oder konstanter negativer Stromdichte angelegt wird und nicht in die Oxidschicht integrierte Nanopartikel vom Metallsubstrat abgestoßen werden.