基本信息:

• 专利标题： SYSTEM FOR TESTING A MIRROR SUCH AS A COLLECTOR MIRROR AND METHOD OF TESTING A MIRROR SUCH AS A COLLECTOR MIRROR
• 申请号：EP19717494.9 申请日：2019-04-17
• 公开(公告)号：EP3785078A1 公开(公告)日：2021-03-03
• 发明人： FRANKEN, Johannes, Christiaan, Leonardus
• 申请人： ASML Netherlands B.V.
• 申请人地址： NL 5500 AH Veldhoven P.O. Box 324
• 代理机构： ASML Netherlands B.V.
• 优先权： EP18169481 20180426
• 国际公布： WO2019206767 20191031
• 主分类号： G03F7/20
• IPC分类号： G03F7/20 ; G21K1/06 ; G01M11/00

信息查询: