EP3437117B1 RADIATION WINDOW STRUCTURE AND A METHOD FOR MANUFACTURING THE RADIATION WINDOW STRUCTURE
有权
转让
基本信息:
- 专利标题： RADIATION WINDOW STRUCTURE AND A METHOD FOR MANUFACTURING THE RADIATION WINDOW STRUCTURE
- 申请号：EP16896658.8 申请日：2016-03-29
- 公开(公告)号：EP3437117B1 公开(公告)日：2022-09-21
- 发明人： SIPILÄ, Heikki Johannes
- 专利权人： AMETEK Finland Oy
- 当前专利权人： AMETEK FINLAND OY
- 当前专利权人地址： AMETEK FINLAND OY
- 代理机构： Berggren Oy
- 国际公布： WO2017168033 20171005
- 主分类号： C23C16/26
- IPC分类号： C23C16/26 ; C23C16/34 ; H01J35/18 ; H01J5/18 ; G01T1/00