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专利标题：
MICROMACHINED ULTRASOUND TRANSDUCER USING MULTIPLE PIEZOELECTRIC MATERIALS
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申请号：EP15789257.1
申请日：2015-04-02
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公开(公告)号：EP3140869B1
公开(公告)日：2019-06-05
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发明人：
SHELTON, Stefon
, GUEDES, Andre
, PRZYBYLA, Richard
, KIANG, Meng-Hsiung
, HORSLEY, David
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申请人：
Chirp Microsystems, Inc.
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申请人地址：
2560 Ninth Street, Suite 220A
Berkeley, CA 94710
US
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专利权人：
Chirp Microsystems, Inc.
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当前专利权人：
INVENSENSE, INC., SAN JOSE, US
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当前专利权人地址：
INVENSENSE, INC., SAN JOSE, US
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代理机构：
FRKelly
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优先权：
US201461991408P 20140509
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国际公布：
WO2015171224 20151112
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主分类号：
H01L41/187
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IPC分类号：
H01L41/187
; H01L41/09
; B06B1/06
