基本信息:
- 专利标题： AUTOSLICE AND VIEW UNDERCUT METHOD
- 专利标题（中）：VERFAHREN ZUM AUTOSCHNEIDEN UND ANSICHTSHINTERSCHNITT
- 申请号：EP15184210.1 申请日：2015-09-08
- 公开(公告)号：EP2995924A1 公开(公告)日：2016-03-16
- 发明人： Passey, Richard G. , McNeil, John C.
- 申请人： FEI Company
- 申请人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793 US
- 专利权人： FEI Company
- 当前专利权人： FEI Company
- 当前专利权人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793 US
- 代理机构： Bakker, Hendrik
- 优先权： US201414484025 20140911
- 主分类号： G01N1/28
- IPC分类号： G01N1/28 ; G01N1/32
摘要：
A method is provided for slice and view processing of samples with dual beam systems. The slice and view processing includes providing a location for particles and material resulting from the slice and view process to collect without obscuring the sample face to be viewed and imaged. This location is formed as an undercut located beneath or in front of the sample face.
摘要（中）：
提供了一种用于对具有双光束系统的样品进行切片和查看处理的方法。 切片和视图处理包括提供由切片和观看过程产生的颗粒和材料的位置，而不会使待观察和成像的样品面变得模糊。 该位置形成为位于样品表面下方或前面的底切。
公开/授权文献:
- EP2995924B1 AUTOSLICE AND VIEW UNDERCUT METHOD 公开/授权日：2017-07-26
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N1/00 | 取样；制备测试用的样品 |
| --------G01N1/28 | .测试用样品的制备 |