基本信息:
- 专利标题： MULTIPLE PROBE ACTUATION
- 专利标题（中）：SONDE MITMEHRFACHAUSLÖSUNG
- 申请号：EP13759284.6 申请日：2013-08-28
- 公开(公告)号：EP2890989A1 公开(公告)日：2015-07-08
- 发明人： HUMPHRIS, Andrew
- 申请人： Infinitesima Limited
- 申请人地址： 1 Hitching Court Blacklands Way Abingdon OX14 1RG GB
- 专利权人： Infinitesima Limited
- 当前专利权人： Infinitesima Limited
- 当前专利权人地址： 1 Hitching Court Blacklands Way Abingdon OX14 1RG GB
- 代理机构： Ribeiro, James Michael
- 优先权： GB201215547 20120831
- 国际公布： WO2014033452 20140306
- 主分类号： G01Q10/04
- IPC分类号： G01Q10/04 ; G01Q20/02 ; G01Q70/06 ; G01N29/036 ; B82Y35/00 ; G03F7/20 ; G11B9/14
摘要：
A method of actuating a plurality of probes. Each probe may be made of two or more materials with different thermal expansion coefficients which are arranged such that when the probe is illuminated by an actuation beam it deforms to move the probe relative to a sample. Energy is delivered to the probes by sequentially illuminating them with an actuation beam via an objective lens in a series of scan sequences. Two or more of the probes are illuminated by the actuation beam in each scan sequence and the actuation beam enters the objective lens at a different angle to an optical axis of the objective lens for each probe which is illuminated in a scan sequence. The actuation beam is controlled so that different amounts of energy are delivered to at least two of the probes by the actuation beam during at least one of the scan sequences.
摘要（中）：
一种致动多个探针的方法。 每个探针可以由具有不同热膨胀系数的两种或更多种材料制成，这些材料被布置为使得当探针被致动束照射时，其变形以使探针相对于样品移动。 通过一系列扫描序列中的物镜通过致动束依次照射能量来将能量传送到探针。 两个或更多个探针在每个扫描序列中由致动束照射，并且致动光束以与以扫描序列照亮的每个探针的物镜的光轴成不同的角度进入物镜。 控制致动束，使得在至少一个扫描序列期间，通过致动束将不同量的能量传递到至少两个探针。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01Q | 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术 |
| ------G01Q10/00 | 扫描或定位设备，即主动控制探针的运动或位置的设备 |
| --------G01Q10/04 | .细扫描或定位 |